进入3月以来，沈阳集成电路装备产业大动作频频，一批重大项目接连开工、竣工，引来业界密切关注。记者从沈阳市发展改革委了解到，紧盯延链补链强链重要节点，紧扣谋划储备、签约落地、开工建设、竣工投产重要环节，今年沈阳市将统筹推进集成电路装备领域重点项目74个，为产业高质量发展夯实项目根基。
半导体石英零部件在集成电路装备产业中扮演着至关重要的角色?。随着集成电路制造工艺不断进步，对高纯度石英零部件的需求持续增长。3月25日，全球知名科技公司贺利氏集团在中国规模最大的半导体项目——贺利氏石英沈阳新工厂竣工投产。新工厂主要生产半导体用高纯、超高纯合成石英系列产品，并设立创新中心，满足客户对于高端产品的最新需求。
“投资沈阳是我们的关键布局，未来将继续为这一项目增资。”贺利氏集团董事会成员兼首席运营官弗兰克·施蒂茨表示，以新工厂竣工为起点，贺利氏将持续聚焦半导体器件、集成电路产业化，打造先进制造基地和创新高地，带动包括半导体研发、产业化，以及配套的原辅材料、耗材在内的全生态半导体产业园区发展。
对于沈阳乃至辽宁集成电路装备产业发展来说，新工厂的全新启航无疑是重要利好，对于扩大产业规模、提升产业链韧性意义深远。沈阳市发展改革委相关负责人介绍，经过持续多年的谋篇布局，沈阳已建立起以整机和零部件为特色的集成电路装备产业集群，并获得了一批重大标志性成果。拓荆科技、芯源微电子、富创精密、沈阳科仪、和研科技、新松半导体等龙头企业不断成长。去年，沈阳集成电路产业产值增长45%以上。
立足全市集成电路产业“一主两翼”的整体布局，沈阳市发展改革委全力以赴实施延链补链强链工程，以项目建设为支撑，加快推动产业发展迈向更高层次。浑南“北方芯谷”作为核心片区，重点聚焦薄膜沉积等装备及真空机械手等零部件产业；沈北产业片区重点在后道划磨设备、MCU（微处理器）设计及零部件等领域形成特色优势；铁西产业片区集聚汉科、贺利氏等国际知名企业，已成为国内重要的半导体石英零部件产业片区。以龙头企业为牵引、释放核心产品优势，沈阳着力吸引北京、深圳、苏州、昆山等地重点企业、配套项目入驻，目前已有74个重点项目纳入全年推进计划，预计总投资382亿元。
就在本月初，总投资10亿元的沈阳芯源微高端晶圆处理设备产业化创新路项目开工建设。该项目主要研发、生产前后道涂胶显影设备，建成后将有力助推国产光刻工序涂胶显影设备提升市场占有率。
3月17日，总投资20亿元的拓荆科技高端半导体设备产业化基地项目铲土开建。拓荆科技股份有限公司董事长吕光泉表示：“我们感受到辽宁对战略性新兴产业的重视，因此下定决心在沈阳扩大投资。基地建成后，产能可提升4倍，可更好地满足国内集成电路企业对高端薄膜装备的需求。”
（辽宁日报记者 金晓玲）
