王曦，男，汉族，1966年8月生，江苏南通人，2001年4月加入中国共产党，1990年6月参加工作，中国科学院上海冶金研究所材料物理专业毕业，研究生学历，工学博士，中国科学院院士，研究员。

　　1983—1987年 清华大学工程物理系核材料科学专业学习

　　1987—1990年 中国科学院上海冶金研究所材料物理专业硕士研究生

　　1990—1994年 中国科学院上海冶金研究所研究实习员（其间：1990.09—1993.12中国科学院上海冶金研究所材料物理专业在职研究生学习，获工学博士学位；1993.07—1994.05澳大利亚联邦科学与工业研究院访问学者）

　　1994—1995年 中国科学院上海冶金研究所副研究员

　　1995—1996年 中国科学院上海冶金研究所第十六研究室副主任

　　1996—1997年 中国科学院上海冶金研究所第三研究室副主任

　　1997—1998年 中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室主任

　　1998—2001年 中国科学院上海冶金研究所第三研究室主任

　　（1996.05—1998.06德国罗森多夫研究中心访问学者）

　　2001—2002年 中国科学院上海微系统与信息技术研究所第三研究室主任

　　2002—2004年 中国科学院上海微系统与信息技术研究所所长助理、第三研究室主任兼上海新傲公司经理（其间：2003.09—2003.12上海市科技党校中青年干部培训班学习）

　　2004—2007年 中国科学院上海微系统与信息技术研究所副所长、党委副书记

　　2007—2009年 中国科学院上海微系统与信息技术研究所党委书记、副所长

　　2009—2010年 中国科学院上海微系统与信息技术研究所党委书记、常务副所长（2009.12当选中国科学院院士）

　　2010—2016年 中国科学院上海微系统与信息技术研究所所长

　　2016—2019年 中国科学院上海微系统与信息技术研究所所长兼中国科学技术协会副主席（2017.04任中国科学院上海高等研究院院长）

　　2019—2020年 科学技术部副部长、党组成员，中国科学技术协会副主席（兼）

　　2020— 广东省政府副省长、党组成员

　　第十九届中央候补委员。