中国经济网佛山12月27日讯(记者张建军 董碧娟)由广东省科技厅组织召开的国内首个量产型MOCVD设备科技成果鉴定会今天在佛山南海召开。记者从会上获悉，由广东昭信集团、昭信半导体装备公司及华中科技大学共同研发的量产型MOCVD设备，成功通过专家组的科技成果鉴定，达到同类设备国际先进水平和国内领先水平，打破了国外LED核心技术的垄断。专家表示，这是国内LED核心技术发展的一个新的里程碑。MOCVD设备的国产化，意味着长期由国外垄断的MOCVD技术将被打破，LED产品的价格有望进一步下降。
设备通过权威专家组鉴定
据了解，一直以来，MOCVD是高亮度LED芯片生产过程中最关键的设备，因设备技术难度高、开发周期长以及国内产业化起步晚等原因，市场主要被欧美企业垄断。近年来，我国LED外延芯片与封装在规模和品质上都取得了举世瞩目的成就，产品国产化比例显著提升，但关键装备特别是量产型MOCVD仍然依靠进口，生产成本居高不下，严重制约着国内LED产业的发展。
在此背景下，2009年，昭信集团启动半导体照明新品设备项目。一年后，由昭信半导体公司研制的国内首台MOCVD设备成功下线，填补了国内MOCVD技术的空白。根据工艺验证结果和客户反馈，昭信半导体公司在第一代原型机的基础上，对设备样机进行多项改进设计，推出第二代量产型MOCVD设备，量产机型在产出率、可靠性、运行经济性等方面都有了显著改善。
日前，包括来自南京大学、中科院半导体所、苏州纳米所、乾照光电等全国知名院所、知名LED企业的7名业界权威专家对该项科技成果进行了评审，认为“该设备达到国际先进、国内领先水平，在国内同类工程中有推广应用前景，同意通过科技成果鉴定”。
设备已经完成产业化生产准备
作为项目研发合作团队专家，华中科技大学教授甘志银表示，该设备在通过专家组的科技成果鉴定后，将首先与园区外延厂商广东量晶光电科技有限公司(简称量晶光电)合作，将第二台生产型MOCVD设备定位于量晶光电进行工艺验证。借助量晶光电在LED外延工艺方面的优势力量，进一步验证昭信MOCVD设备的性能，建立示范应用的样板进行市场推广。
为进一步检验市场对该设备的认可度，目前昭信半导体装备公司广泛邀请外延厂商及科研机构的专业人士对二代机型反复进行工艺验证。截至目前，已有亚威朗、迪源等多家外延厂家到昭信半导体公司进行试用，进行外延生长，经过验证表明，昭信MOCVD设备所生长的外延片达到同行业领先水平。
“MOCVD设备科技成果鉴定通过，是以政府主导推动，以企业为创新主体，以大专院校、科研院所为支撑的创新机制改革成功的又一例子。”广东昭信集团董事长梁凤仪表示。下一阶段，昭信集团将会根据市场的发展进一步推出多腔体设备，进行产业化生产。同时与外延企业合作，让国产MOCVD设备走向国际。
广东省政府一直在支持MOCVD设备的国产化。去年，昭信的MOCVD设备研发项目列入2011年战略性新兴产业专项资金重点项目，“自主生产型MOCVD设备与外延工艺的研制和产业化项目”等多个项目获得专项资金项目立项扶持。专家表示，随着昭信MOCVD设备在业界的推广应用，被欧美企业长期垄断的关键技术将会得到打破，从而带来LED产品价格下降这一重要影响。
（责任编辑：徐晶慧）
